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MFC1000系列氣體質(zhì)量流量控制器
一、MFC1000系列質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品概述：
MFC1000質(zhì)量流量控制器，采用了熱帖片式原理，而且克服了熱式對(duì)于預(yù)熱時(shí)間的要求，預(yù)熱時(shí)間僅需要70ms，且保證了流量控制的穩(wěn)定性和精確度;同時(shí)具備200:1的超高量程比，可以滿足更多的客戶流量控制應(yīng)用場(chǎng)合。
材質(zhì)上，采用了316不銹鋼主體，F(xiàn)KM密封，并具備較強(qiáng)的抗振動(dòng)性能；使用上，配備了數(shù)字RS485及模擬0-5VDC通過9針的工業(yè)插頭可輕松實(shí)現(xiàn)數(shù)字、模擬信號(hào)的測(cè)控。維護(hù)上影響設(shè)備壽命與精度的是被測(cè)氣體的質(zhì)量。該系列質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)用于測(cè)控潔凈、干燥、無(wú)腐蝕性的氣體。儀器無(wú)需定期清潔。如有必要，可用柔軟的干抹布擦拭設(shè)備外部即可。
二、MFC1000系列質(zhì)流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：
● 價(jià)格低廉，
● 超小的體積，輕松置于掌心，適合系統(tǒng)集成
● 快速的響應(yīng)時(shí)間，70毫秒的預(yù)熱時(shí)間
● 壓損極低，滿量程僅為10mbar
● 內(nèi)置精巧的PD閥，控制穩(wěn)定、精確
● 最高可達(dá)200:1的量程比，一臺(tái)設(shè)備適用于多個(gè)應(yīng)用
● 配備模擬控制和數(shù)字控制，贈(zèng)送電腦操作軟件
● 抗振性能，可適用于鐵路焊機(jī)等嚴(yán)格場(chǎng)合
三、MFC1000系列質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
性能 | MFC1000-100sccm | MFC1000-1000sccm | MFC1000-20SLPM |
量程 | 100sccm | 1000sccm | 20SLPM |
精度(標(biāo)定工況下） | ±(1.5%+0.5%FS) | ||
重復(fù)性 | ±0.5%FS | ||
零點(diǎn)漂移/滿量程漂移 | 0.05%FS/ 年 | ||
工作范圍/量程可調(diào)比 | 100:1 | ||
最大可控流量 | 102%FS | ||
典型響應(yīng)時(shí)間 | 100ms | ||
啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間 | 70ms | ||
工作溫度 | 0~+50℃ | ||
溫度漂移：與標(biāo)定溫度20℃每相差 1℃，精度增加0.12%。 | |||
產(chǎn)品型號(hào) | 滿量程壓損 排氣到大氣中 | 設(shè)備尺寸 mm3 | 管道連接接口 |
MFC1000-100sccm | 150Pa | 63.5 X 66.5 X 22.2 | 1/8" NPT 母 |
MFC1000-1000sccm | 800Pa | ||
MFC1000-20SLPM | 2000Pa | 70.5 X 74.2 X 26.0 | 3/8" NPT 母 |
